产品亮点
超高线性精度
独立设计的高空间分辨率的发射镜组和接收镜组,能够带来极为出色的线性特性;同时基于可溯源激光干涉仪比对的纳米级精度自动化标定系统,能够满足传感器产品高精度、批量化的性能标定要求。超快采样速度
激光三角系列最高160kHz超快采样速度
采用高灵敏度、高信噪比的元器件,同时在探头中实现内部信号数字化,大大减小了噪声干扰。同时针对应用现场实现优化设计,减小了环境温度波动、结构振动等因素对测量精度的影响,将高精度测量能力真正传递到客户端。超大测量角度
提供最大±65°测量角度的探头型号,能够满足2.5D玻璃及芯片引脚形貌测量和定位的要求。
参数规格:
| 型号 | BG-CIS3-30200-T1  | 
重量  | 186g | 
| 参考距离 | 10mm | 
重复精度  | 12nm  | 
参考距离范围  | 0~30(不含)mm  | 
线性误差范围(/准确值范围)  | <±1(不含)μm | 
温度特征  | <0.03% F.S./°C  | 
测量范围  | ±0.2mm  | 
线性误差  | <±0.12μm  | 
重复精度(无平均)  | 0~200(不含)nm  | 
功耗/电流消耗  | TSConfocalStudio测控软件,C++及C#软件开发包 |