BG-CIS3-30200-T1
BG-CIS3-30200-T1
光谱共焦位移传感器
无接触测量,能精准测位移、厚度、轮廓等,抗干扰性强,广泛用于半导体、精密制造、光学元件检测等领域


产品亮点

  • 超高线性精度
    独立设计的高空间分辨率的发射镜组和接收镜组,能够带来极为出色的线性特性;同时基于可溯源激光干涉仪比对的纳米级精度自动化标定系统,能够满足传感器产品高精度、批量化的性能标定要求。

  • 超快采样速度
    激光三角系列最高160kHz

  • 超快采样速度
    采用高灵敏度、高信噪比的元器件,同时在探头中实现内部信号数字化,大大减小了噪声干扰。同时针对应用现场实现优化设计,减小了环境温度波动、结构振动等因素对测量精度的影响,将高精度测量能力真正传递到客户端。

  • 超大测量角度
    提供最大±65°测量角度的探头型号,能够满足2.5D玻璃及芯片引脚形貌测量和定位的要求。


参数规格:


型号

 BG-CIS3-30200-T1

重量

 186g
参考距离 10mm

重复精度

 12nm

参考距离范围

 0~30(不含)mm

线性误差范围(/准确值范围)

 <±1(不含)μm

温度特征

 <0.03% F.S./°C

测量范围

 ±0.2mm

线性误差

 <±0.12μm

重复精度(无平均)

 0~200(不含)nm                                                                                                 

功耗/电流消耗

 TSConfocalStudio测控软件,C++及C#软件开发包